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半导体工厂的废气处理设备是如何处理的 化工废气处理设备堵塞的原因

June 19, 2021 废气处理设备 89

化工废气处理设备堵塞的原因


化工VOCs废气处理设备使用一段时间就会发生堵塞现象,电脑使用一段时间后卡就会堵塞,那么化工废气处理设备堵塞的原因是什么呢?接下来为大家分析一下吧。

(1)化工废气处理设备内件选择不正确。

(2)没有选择合适的脱硫剂。

(3)脱硫系统的指标控制。

(4)气温低时用液相加热。

废气处理设备,VOCs废气处理设备

(5)硫回收的质量:硫回收的好坏可以直接反映去除了多少H2S。 无论脱硫系统如何顺利,硫无法回收,一定会滞留在塔内,为了堵塞塔而填补危险。 另外,熔融硫的返液返回系统的话,会成为副盐含量高的主要原因。

(6)前工序的除尘效果:众所周知,进入脱硫系统的气体成分复杂,含有很多杂质和污垢。 一进入化工RTO废气处理设备就很难带出去,和硫膏一起用湿式脱硫闭塞塔的原因分析和对策来制作闭塞塔。 一般化学工业废气处理设备的填充塔都分三段,原因是最低层填充剂的差压大,除尘效果不好。

(7)脱硫液再生效果差,贫液中硫含量高。 再生不良是塔内的Na2CO3吸收H2S而得到的NaHS全部不被硫单质氧化,被浮选,收集到泡槽中,被送入到化学工业废气处理设备中,在塔上段完成氧化反应,生成单质硫,马上附着在填充材料表面,这是化学工业废气处理设备的上段




半导体废气处理设备的方法


这几年,环境保护一直是一个热门话题。 随着半导体工厂的发展,废气污染也越来越严重,半导体工厂的废气处理设备是如何处理的呢? 半导体工厂的废气在处理中采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。 根据废气的排出,可以分为普通废气(GEX  )、酸性废气(SEX  )、碱性废气(AEX  )、有机废气(VEX  )。

半导体工厂的废气处理设备是如何处理的 化工废气处理设备堵塞的原因

对不同的污染物采用不同的处理方法。

1.1有机废气处理系统:含有半导体制造过程中排出的有机成分的废气(voc  )通常通过直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等方法处理,但直接焚烧低浓度大风量的有机废气会引起大量燃料消耗和不必要的污染,高浓度活性炭吸附的方法从其材料特性来看,具有容易燃烧、水分灵敏度高、解吸后的残留负荷高等缺点,在半导体制造界几乎不使用。 生物氧化技术作为比较新的处理技术在处理大风量方面有待进一步的研究和发展。 半导体制造的有机废气的特征是浓度低,但由于排气量大,所以必须考虑浓缩有机废气进行焚烧处理。 沸石浓缩转轮系统和焚烧炉焚烧系统的组合可以很好地解决这个问题。 沸石浓缩轮焚烧处理的系统处理原理是将大风量低浓度有机废气转换为小风量高浓度气流,对浓缩的高浓度有机废气进行焚烧处理,主要优点是系统处理效率(95% )高,操作简单,清洗维护容易数据表明,解吸风量和焚烧炉的运行温度确实是影响系统处理效率和能耗的最主要因素,焚烧温度越高解吸风量越大处理效率越高,但能耗也同时上升。

1.2一般排气系统:半导体工厂的一般排气(GEX  )系统在运转中也被称为热排气系统,在生产中有些设备局部产生大量的热,或者产生影响高洁净度生产环境的含尘无害气体。 为了满足半导体工艺对环境温湿度((221 )、(455 ) % )和洁净度的极高要求,可以用管道系统收集这样的废气,用鼓风机提取排出。 在部分设备热排气的洁净度采样检查中,一般排气用于提取设备的含尘排出,但从一般排气系统提取的气体直接来自洁净室内,设备的含尘排出浓度较低,因此通过总管道检测的结果为洁净水平根据设备排出点的温度测量,根据设备和排出点的不同,热排气温度的差最大为42,最低为22,但总排出口的温度测量不超过26,比洁净室温度稍高,在室温范围内。 因此,GEX可以直接排放到大气环境中,不进行任何处理,是无害的排放。

废气治理,VOCs废气治理


1.3酸性、碱性废气处理系统:采用分别收集、分离处理半导体制造中产生的酸性和碱性废气的方法,但处理设备和处理原理基本相同。 含有酸性/碱性物质的废气在半导体工厂多采用大型清洗式中央废气处理系统处理。 由于半导体制造作业区域远离中央废气处理系统,因此部分酸性/碱性废气在输送到中央废气处理系统之前,根据气体特性在配管中堆积结晶和粉尘,配管堵塞后气体泄漏,严重的东西爆炸,现场作业因此,有必要在工作场所配置适合工艺气体特性的当地废气处理设备进行当地处理,然后排出到中央处理系统。 另外,剧毒物、自燃、爆炸性等特殊废气需要用干式洗涤塔等设备通过吸附或氧化/燃烧等方法进行现场处理,然后排出人的中央废气处理系统。 中央废气处理系统的核心设备是采用水洗式的洗涤塔,其主要功能是控制洗涤塔的水的酸碱度、电导率等参数,废气和水交叉流动时废气在洗涤塔中与水充分接触,吸收其中的酸性或碱性物质在系统的实际运行中,发现影响系统处理效率的另一个因素是循环水量的问题。


2、结语:废气处理是半导体制造企业不可缺少的环保环节,作为代表大规模先进制造技术的产业,半导体制造企业注意废气排放对环境的污染、对先进半导体工艺的影响,即AMC问题,废气排放的处理基于环境管理系统的国际认证(ISOl40o1 )和基于职业安全卫生管理系统的国际认证(OHSAS18001 )是国内半导体企业走向国际市场的通行证。


废气处理设备配件风量调节阀的介绍


废气处理设备配件——风量调节阀,它有一种基本的结构,在管道的中心配置阀板(挡板),阀板可以围绕与阀板平行的中间轴旋转,通过旋转阀板和管道截面的角度来改变管道的流通截面,从而改变风量。单一的阀板为了承受风压必须加厚,另外阀板旋转所需的空间很大,因此可以变更为多个排列的阀板,像百叶窗一样排列旋转,同样可以调整风量。 多页是指将一扇门改为百叶窗(实际上只有2~4页),通过电动机控制旋转,成为电动多叶风量调节阀。


VOCs废气处理设备

文章来源:废气处理设备网

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