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半导体废气处理设备的方法,喷漆房废气概要和处理工艺

January 13, 2021 废气处理设备 19

研究了UV光催化排气体净化机的性能优势


       UV光触媒排气体净化机的性能优势第一、有效恶臭去除:可以有效去除挥发性有机物(VOC  )、无机物、硫化氢、阿摩尼亚、硫醇类等主要污染物,除臭效率zui达到99%以上,除臭效果于国家1993年公布的恶臭污染物排放标准(GB14554-93 )和1996年公布无需添加物质:设置相应的排气管和排气动力,用本设备除臭、分解净化恶臭/工业废气,无需添加参与化学反应的物质;

       UV光分解净化设备适应性强: THY-系列产业排瓦斯气体(产业排瓦斯气体) UV光催化剂排气体净化设备能适应高浓度、大气量、不同产业排瓦斯气体物质的除臭、净化处理,能每天连续工作2.4时间,运行稳定; 营运成本低: THY-系列产业排瓦斯气体(产业排瓦斯气体) UV高效光解排气体净化设备无机械运动,无噪声,无需管理者或日常维护,只需进行定期检查,本设备能耗低,设备风阻极低<50pa,大量排气适用于UV光催化排气气体净化器占地面积小、自重轻:紧凑、占地狭窄等特殊条件,处理设备占地面积<1平方米10000m3/h风量;


半导体废气处理设备的方法


这几年,环境保护一直是一个热门话题。 随着半导体工厂的发展,废气污染也越来越严重,半导体工厂的VOCs废气处理设备是如何处理的呢? 半导体工厂的废气在处理中采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。 根据废气的排出,可以分为普通废气(GEX  )、酸性废气(SEX  )、碱性废气(AEX  )、有机废气(VEX  )。 对不同的污染物采用不同的处理方法。
1.1一般排气系统:半导体工厂的一般排气(GEX  )系统在运转中也被称为热排气系统,在生产中有些设备局部产生大量的热,或者产生影响高洁净度生产环境的含尘无害气体。

废气处理设备,VOCs废气处理设备

为了满足半导体工艺对环境温湿度((221 )、(455 ) % )和洁净度的极高要求,可以用管道系统收集这样的废气,用鼓风机提取排出。 在部分设备热排气的洁净度采样检查中,一般排气用于提取设备的含尘排出,但从一般排气系统提取的气体直接来自洁净室内,设备的含尘排出浓度较低,因此通过总管道检测的结果为洁净水平根据设备排出点的温度测量,根据设备和排出点的不同,热排气温度的差最大为42,最低为22,但总排出口的温度测量不超过26,比洁净室温度稍高,在室温范围内。 因此,GEX可以直接排放到大气环境中,不进行任何处理,是无害的排放。
1.2酸性、碱性废气处理系统:采用分别收集、分离处理半导体制造中产生的酸性和碱性废气的方法,但处理设备和处理原理基本相同。 含有酸性/碱性物质的废气在半导体工厂多采用大型清洗式中央废气处理系统处理。 由于半导体制造作业区域远离中央废气处理系统,因此部分酸性/碱性废气在输送到中央废气处理系统之前,根据气体特性在配管中堆积结晶和粉尘,配管堵塞后气体泄漏,严重的东西爆炸,现场作业因此,有必要在工作场所配置适合工艺气体特性的当地废气处理设备进行当地处理,然后排出到中央处理系统。 另外,剧毒物、自燃、爆炸性等特殊废气需要用干式洗涤塔等设备通过吸附或氧化/燃烧等方法进行现场处理,然后排出人的中央废气处理系统。 中央废气处理系统的核心设备是采用水洗式的洗涤塔,其主要功能是控制洗涤塔的水的酸碱度、电导率等参数,废气和水交叉流动时废气在洗涤塔中与水充分接触,吸收其中的酸性或碱性物质在系统的实际运行中,发现影响系统处理效率的另一个因素是循环水量的问题。

1.3有机废气处理系统:含有半导体制造过程中排出的有机成分的废气(voc  )通常通过直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等方法处理,但直接焚烧低浓度大风量的有机废气会引起大量燃料消耗和不必要的污染,高浓度活性炭吸附的方法从其材料特性来看,具有容易燃烧、水分灵敏度高、解吸后的残留负荷高等缺点,在半导体制造界几乎不使用。 生物氧化技术作为比较新的处理技术在处理大风量方面有待进一步的研究和发展。

半导体废气处理设备的方法,喷漆房废气概要和处理工艺

半导体制造的有机废气的特征是浓度低,但由于排气量大,所以必须考虑浓缩有机废气进行焚烧处理。 沸石浓缩转轮系统和焚烧炉焚烧系统的组合可以很好地解决这个问题。 沸石浓缩轮焚烧处理的系统处理原理是将大风量低浓度有机废气转换为小风量高浓度气流,对浓缩的高浓度有机废气进行焚烧处理,主要优点是系统处理效率(95% )高,操作简单,清洗维护容易数据表明,解吸风量和焚烧炉的运行温度确实是影响系统处理效率和能耗的最主要因素,焚烧温度越高解吸风量越大处理效率越高,但能耗也同时上升。
2、结语:废气处理是半导体制造企业不可缺少的环保环节,作为代表大规模先进制造技术的产业,半导体制造企业注意废气排放对环境的污染、对先进半导体工艺的影响,即AMC问题,废气排放的处理基于环境管理系统的国际认证(ISOl40o1 )和基于职业安全卫生管理系统的国际认证(OHSAS18001 )是国内半导体企业走向国际市场的通行证。


喷漆房废气概要和处理工艺


【喷漆房废气概要】随着经济的发展,喷漆行业在各行业的应用也越来越广泛,被应用于家具、电子、汽车、塑料、竹木制品加工、机械生产加工等领域。 喷漆过程中产生的废气污染了空气,废气一般是挥发性有机化合物。 其次,介绍喷漆房废气处理设备。
喷漆废气成分:喷漆房的废气成分主要是VOCs有机废气,烃类(甲苯、二甲苯等)、烃类(烷烃、环烷烃、烯烃等)、醇类、醛类、酮类(甲基异丁基酮) 排放标准:根据国家环境保护规定,废气执行二次标准,参照《大气污染物综合排放标准》 (GB16297-1996 )、《恶臭污染物排放标准》 (GB14554-93 )的规定,废气排放标准如下表所示
【喷漆废气处理工艺】工艺因涂料而异,产生的废气成分也不同。 不同的废气有不同的废气处理技术。 接下来,用小编介绍喷雾塔UV光氧催化剂排气处理工艺。

废气治理,VOCs废气治理

步骤1 :废气收集; 第二步骤:旋转喷淋塔清洗喷淋除臭,废气经过旋转喷淋塔,填料层与喷淋下的吸收液充分接触,进行吸收、中和反应,废气中的尘埃也被水捕集,尘埃通过离心或过滤脱离,通过重力通过塔壁第三步骤: UV光分解催化剂氧化通过特制的微波无紫外灯产生多波段的高强度UV光束,分解排气分子团,同时分解空气中的氧分子产生游离氧,与氧分子结合,进而产生臭氧,迈的共同作用,废气污染物迅速氧化分解,成为低分子化合物或完全氧化,从鼓风机通过烟囱排出到大气中,废气排出主要有N2、O2、H2O、CO2等无害气体。


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文章来源:废气处理设备网

文章标题:半导体废气处理设备的方法,喷漆房废气概要和处理工艺

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